나노 박막 두께 &
굴절 측정 시스템 개발 중

• Line Resolution : 10k point 이상

• 선형적 측정 가능

• 측정속도 : > 150P / sec

• 측정 포인트 확장 가능

• 고속 측정 가능

• 전수 조사 가능

• OLED 수율 향상 기여

제품 설명

• X-Y Stage → X측 이송으로 대체
• 정밀도 < 1Å
• Point 측정 방식 → Line 측정 방식
• LCD 1500 point / min
• 실시간 전수 검사 가능, 공정 수율 개선