나노 박막 두께측정

제품특징

• Nano pattern shape
• 박막 두께측정
• 굴절율
• 표면 Roughness

제품 기술사양

• 파장범위 RGB/whith light(선택가능)
• 재 현생 < 0.1nm
• 측정방식 line scan
• Line size 200mm(선택)
• Line resolution > 1000
• Stage size 선택 가능
• 측정 범위 200um X 200um